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KS-S150 星型全自动涂胶显影机

KS-S150星型全自动涂胶显影机用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及化合物半导体的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆,产品涉及多个应用领域,涂胶机产能大于190片/小时。设备通过了CSA认证。
产品优势:

1.占地小、稳定性高、操作与维护方便
2.产能高,涂胶机产能大于190片/小时
3.光刻胶用量小,4寸用量0.6ml
4.优异的流场设计,涂胶均匀性好

应用领域:

●传感器芯片制造
●光通信芯片制造
●功率芯片制造
●LED芯片制造
●图形化衬底制造
●化合物半导体领域